An In-Process Micro-Sensor for Ultraprecision Machining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An In-Process Micro-Sensor for Ultraprecision Machining

著者

和文:	H. Hashizume, H. Yoshioka, H. Shinno.
英文:	H. Hashizume, H. Yoshioka, H. Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 3rd euspen International Conference, Eindhoven, The Netherlands, May 26th to 30th, 2002

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 729-732

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:	Proceedings of the 3rd euspen International Conference, Eindhoven, The Netherlands, May 26th to 30th, 2002

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: