基板加振式プラズマエッチングの研究(第2報) - 加振性能の向上によるエッチレートの改善 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	基板加振式プラズマエッチングの研究(第2報) - 加振性能の向上によるエッチレートの改善
英文:

著者

和文:	初澤毅, 廣沢稔, 早瀬仁則.
英文:	初澤毅, 廣沢稔, 早瀬仁則.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 67 No. 10 pp. 1687-1692

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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