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論文・著書情報


タイトル
和文:有機金属気相法によるAlN:Mn薄膜の作製 
英文: 
著者
和文: 東田恭子, 佐藤歩, 敦森俊幸, 原和彦.  
英文: 東田恭子, 佐藤歩, 敦森俊幸, 原和彦.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第63回応用物理学会学術講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1265
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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