Rare Earth Metal Oxides for High-k Gate Insulator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rare Earth Metal Oxides for High-k Gate Insulator

著者

和文:	S.Ohmi, S.Akama, A.Kikuchi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, K.Sato, M.Takeda, H.Ishiwara, H.Iwai.
英文:	S.Ohmi, S.Akama, A.Kikuchi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, K.Sato, M.Takeda, H.Ishiwara, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electrochemical Society Proceedings Volume 2002-2

巻, 号, ページ

pp. 376-387

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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