Electrical Characteristics of Rare Earth Gate Oxides Improved by Chemical Oxide and Long Low Temperature Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Characteristics of Rare Earth Gate Oxides Improved by Chemical Oxide and Long Low Temperature Annealing

著者

和文:	S.Ohmi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, J.Tonotani, H.Ishiwara, H.Iwai.
英文:	S.Ohmi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, J.Tonotani, H.Ishiwara, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstracts of the 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 718-719

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: