Design and Manufacturing of Actuating Beams with Mirror and Electrodes with Mirror Support Pyramid on Substrate for Optical Switches

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design and Manufacturing of Actuating Beams with Mirror and Electrodes with Mirror Support Pyramid on Substrate for Optical Switches

著者

和文:	Mikio HORIE, Taketo GOZU, Daiki KAMIYA.
英文:	Mikio HORIE, Taketo GOZU, Daiki KAMIYA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of SPIE, Optomechatronic Systems III

巻, 号, ページ

Vol. 4902 pp. 205-212

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: