a-Si : H/a-SiC : H superlattice prepared continuously by pulsed plasma and photo CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	a-Si : H/a-SiC : H superlattice prepared continuously by pulsed plasma and photo CVD

著者

和文:	M. Nakano, A. Takano, M. Kawasaki, H. Koinuma.
英文:	M. Nakano, A. Takano, M. Kawasaki, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phy.

巻, 号, ページ

Vol. 71 pp. 5257-5259

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: