A Quantum Chemical Study on Hydrogen Radical Reaction with Methane and Silane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Quantum Chemical Study on Hydrogen Radical Reaction with Methane and Silane

著者

和文:	K. Sato, K. Kojima, M. Kawasaki, Y. Matsuzaki, T. Hirata, M. Nakano, H. Koinuma.
英文:	K. Sato, K. Kojima, M. Kawasaki, Y. Matsuzaki, T. Hirata, M. Nakano, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 65 pp. 2145-2146

出版年月

1989年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: