Optical Detection and Dynamics of Surface Transient Process in Plasma CVD of Hydrogenated Amorphous Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Optical Detection and Dynamics of Surface Transient Process in Plasma CVD of Hydrogenated Amorphous Silicon

著者

和文:	A. Takano, N. Naito, M. Kawasaki, H. koinuma.
英文:	A. Takano, N. Naito, M. Kawasaki, H. koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Noncryst. Solids

巻, 号, ページ

Vol. 164-166 pp. 115-118

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: