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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Piezoelectric Effect on Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogeneted Amorphous Silicon Films 
著者
和文: M. Kawasaki, M. Sumiya, H. Koinuma.  
英文: M. Kawasaki, M. Sumiya, H. Koinuma.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Mat. Res. Symp. Proc. 
巻, 号, ページ Vol. 297        pp. 139-144
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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