In-situ Determination of Optical Constants of Growing Hydrogenated Amorphous Silicon Films by p-Polarized Light Reflectance Measurement on the Surface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ Determination of Optical Constants of Growing Hydrogenated Amorphous Silicon Films by p-Polarized Light Reflectance Measurement on the Surface

著者

和文:	A. Takano, M. Kawasaki, H. koinuma.
英文:	A. Takano, M. Kawasaki, H. koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 73 pp. 7987-7989

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: