Fabrication of Highly Stable and Low Deffect Density Amorphous Silicon Films at Low Substrate Temperature by Plasma CVD Assisted with Piezoelectric Vibration

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Highly Stable and Low Deffect Density Amorphous Silicon Films at Low Substrate Temperature by Plasma CVD Assisted with Piezoelectric Vibration

著者

和文:	M. Sumiya, M. Kawasaki, J. Kochika, H. Koinuma.
英文:	M. Sumiya, M. Kawasaki, J. Kochika, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys

巻, 号, ページ

Vol. 34 pp. L97-L100

出版年月

1995年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: