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タイトル
和文:
英文:
Fabrication of Highly Stable and Low Deffect Density Amorphous Silicon Films at Low Substrate Temperature by Plasma CVD Assisted with Piezoelectric Vibration
著者
和文:
M. Sumiya,
M. Kawasaki
, J. Kochika, H. Koinuma.
英文:
M. Sumiya,
M. Kawasaki
, J. Kochika, H. Koinuma.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Jpn. J. Appl. Phys
巻, 号, ページ
Vol. 34 pp. L97-L100
出版年月
1995年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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