Analytical Calculation and Direct Measurement of Stress in an Aluminum Interconnect of Very Large Scale Integration

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analytical Calculation and Direct Measurement of Stress in an Aluminum Interconnect of Very Large Scale Integration

著者

和文:	H. Yagi, H. Niwa, T. Hosoda, M. Inoue, H. Tsuchikawa, M. Kato.
英文:	H. Yagi, H. Niwa, T. Hosoda, M. Inoue, H. Tsuchikawa, M. Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Stress-Induced Phenomena in Metallization (American Vacuum Society Series 13), American Institute of Physics, New York

巻, 号, ページ

pp. 44-55

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:	Stress-Induced Phenomena in Metallization (American Vacuum Society Series 13), American Institute of Physics, New York

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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