Crystallography and Electromigration Resistance of Epitaxial Al Films Grown on (011)Si Substrates by the Sputtering Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystallography and Electromigration Resistance of Epitaxial Al Films Grown on (011)Si Substrates by the Sputtering Method

著者

和文:	H. Niwa, S. Teramae, M. Kato.
英文:	H. Niwa, S. Teramae, M. Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 2 pp. 203-204

出版年月

1993年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: