Epitaxial Growth of Al and Cu on Si Substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial Growth of Al and Cu on Si Substrates

著者

和文:	T. Fujii, H. Niwa, M. Kato.
英文:	T. Fujii, H. Niwa, M. Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Interface Science and Materials Interconnection, Proceedings of JIMIS-8, The Japan Institute of Metals

巻, 号, ページ

pp. 307-310

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:	Interface Science and Materials Interconnection, Proceedings of JIMIS-8, The Japan Institute of Metals

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: