ECRスパッタ法により形成したAlN薄膜へのAr/O<sub>2</sub>プラズマ照射の効果 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ECRスパッタ法により形成したAlN薄膜へのAr/O₂プラズマ照射の効果
英文:

著者

和文:	安西邦夫, 佐々木大輔, 大見俊一郎, 酒井徹志.
英文:	安西邦夫, 佐々木大輔, 大見俊一郎, 酒井徹志.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第49回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 834

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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