Stability of High-k Thin Films in Moisture Ambience - The effect of Dissolution Gas from Acryl Apparatus -

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stability of High-k Thin Films in Moisture Ambience - The effect of Dissolution Gas from Acryl Apparatus -

著者

和文:	Sadahiro Akama, Akira Kikuchi, Junichi Tonotani, Shun-ichiro Ohmi, Hiroshi Iwai.
英文:	Sadahiro Akama, Akira Kikuchi, Junichi Tonotani, Shun-ichiro Ohmi, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	32nd European Solid-State Device Research Conference

巻, 号, ページ

pp. 587-590

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: