Annealing Condition Dependence of Electrical Characteristics for Dy<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Si(100) Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Annealing Condition Dependence of Electrical Characteristics for Dy₂O₃/Si(100) Structures

著者

和文:	J. Taguchi, H. Yamamoto, J. Tonotani, S. Ohmi, H. Ishiwara, H. Iwai.
英文:	J. Taguchi, H. Yamamoto, J. Tonotani, S. Ohmi, H. Ishiwara, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	32nd European Solid-State Device Research Conference

巻, 号, ページ

pp. 591-594

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: