High-k Gate Insulator Endurance against Moisture Ambience and Wet Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-k Gate Insulator Endurance against Moisture Ambience and Wet Process

著者

和文:	A. Kikuchi, S. Akama, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai.
英文:	A. Kikuchi, S. Akama, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	WORKSHOP ON MICROELECTRONICS AND ELECTRON DEVICES (μE-ED 2002)

巻, 号, ページ

pp. 13-14

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: