Dependence of Gd<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin film properties on Si substrate orientation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dependence of Gd₂O₃ thin film properties on Si substrate orientation

著者

和文:	Ikumi Kashiwagi, Chizuru Ohshima, Yongshik Kim, Shun-ichiro Ohmi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.
英文:	Ikumi Kashiwagi, Chizuru Ohshima, Yongshik Kim, Shun-ichiro Ohmi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	WORKSHOP ON MICROELECTRONICS AND ELECTRON DEVICES (μE-ED 2002)

巻, 号, ページ

pp. 15-16

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: