The Effect of In-situ Vacuum Anneal for High-Dielectric Dy<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The Effect of In-situ Vacuum Anneal for High-Dielectric Dy₂O₃ Thin Films

著者

和文:	Hiroyuki Yamamoto, Junichi Taguchi, Shun-ichiro Ohmi, Hiroshi Iwai.
英文:	Hiroyuki Yamamoto, Junichi Taguchi, Shun-ichiro Ohmi, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	WORKSHOP ON MICROELECTRONICS AND ELECTRON DEVICES (μE-ED 2002)

巻, 号, ページ

pp. 17-18

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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