Novel Carbon Source (1,3-Disilabutane) for the Deposition of P-Type a-SiC

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Novel Carbon Source (1,3-Disilabutane) for the Deposition of P-Type a-SiC

著者

和文:	Shuhei yagi, Katsuya Abe, Takashi Okabayashi, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shuhei yagi, Katsuya Abe, Takashi Okabayashi, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Material Research Society Symposium Proceeding

巻, 号, ページ

Vol. 715 pp. A24.4.1

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: