チタン酸バリウム･ターゲットを用いたRFマグネトロン･スパッタリング法によるチタン酸バリウム薄膜の組成及び結晶構造

論文・著書情報

タイトル

和文:	チタン酸バリウム･ターゲットを用いたRFマグネトロン･スパッタリング法によるチタン酸バリウム薄膜の組成及び結晶構造
英文:	The composition abd crystal structure of barium titanate thin film prepared by RF magnetron sputtering meyhod using barium titanate target

著者

和文:	金容三, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	金容三, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第18回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:	18th Ceramic Research Conference of Kanto Branch of the Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 1B02 pp. 31

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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