RFマグネトロンスパッタリング法によるLaNiO<sub>3</sub>電極/BaTiO<sub>3</sub>積層薄膜コンデンサの試作と誘電特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	RFマグネトロンスパッタリング法によるLaNiO₃電極/BaTiO₃積層薄膜コンデンサの試作と誘電特性
英文:	Preparation of LaNiO₃/BaTiO₃ thin film multilayer capacitor deposited by RF-magnetron sputtering and its dielectric property

著者

和文:	横井博和, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	横井博和, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第18回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:	18th Ceramic Research Conference of Kanto Branch of the Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 1B03 pp. 32

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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