微細加工による強誘電体/FETトランジスタ構造体の試作

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細加工による強誘電体/FETトランジスタ構造体の試作
英文:	Prototyping of [Ferroelectric Material]/[Field Effect Transistor] Structure by Microfabrication

著者

和文:	朝日隆太郎, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	朝日隆太郎, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第18回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:	18th Ceramic Research Conference of Kanto Branch of the Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 2B01 pp. 63

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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