Double-polysilicon self-aligned HBT with non-selective epitaxial SiGe:C base layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Double-polysilicon self-aligned HBT with non-selective epitaxial SiGe:C base layer

著者

和文:	T. Yamazaki, S. Ohmi, M. Sakuraba, J. Murota, T. Sakai.
英文:	T. Yamazaki, S. Ohmi, M. Sakuraba, J. Murota, T. Sakai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Second International Workshop on New Group IV (Si-Ge-C) Semiconductors: Control of Properties and Applications to Ultrahigh Speed and Opto-Electronic Devices

巻, 号, ページ

pp. VIII-06

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: