超精密加工機におけるテーブルと駆動系の連結機構（加工環境制御超精密加工機CAPSULEへの組込み）

論文・著書情報

タイトル

和文:	超精密加工機におけるテーブルと駆動系の連結機構（加工環境制御超精密加工機CAPSULEへの組込み）
英文:	Connecting Mechanism between Table and Its Driving System for Ultraprecision Machine Tools

著者

和文:	橋詰等, 新野秀憲, 伊東誼.
英文:	橋詰等, HIDENORI SHINNO, 伊東誼.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第６９期通常総会講演会講演論文集（Vol.C)
英文:	Proceedings of the JSME General Assembly （Vol.C)

巻, 号, ページ

Vol. 920 No. 17 pp. 510-512

出版年月

1992年

出版者

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会議名称

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開催地

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