Selective oxidation and successive wet etching for freestanding structure of magneto-optical waveguide

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Selective oxidation and successive wet etching for freestanding structure of magneto-optical waveguide

著者

和文:	H.Yokoi, Y.Shoji, 水本哲弥.
英文:	H.Yokoi, Y.Shoji, T.Mizumoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs and Their Applications Technical Digest

巻, 号, ページ

No. TuP12 pp. 75-76

出版年月

2003年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: