Epitaxial Growth of Strained Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Films by the Hot-Wire Cell Method and Its Application to Metal Oxide Semiconductor Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial Growth of Strained Si_1-yC_y Films by the Hot-Wire Cell Method and Its Application to Metal Oxide Semiconductor Devices

著者

和文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 430 pp. 283-286

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: