Characterization of Low Temperature Epitaxial Si and Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Films Grown by Hot Wire Cell Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Low Temperature Epitaxial Si and Si_1-yC_y Films Grown by Hot Wire Cell Method

著者

和文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Hajime Tamura, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Hajime Tamura, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science & Engineering B

巻, 号, ページ

Vol. 89 pp. 328-331

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: