Formation of Nano-oxide Regions in p<sup>2+</sup>-GaAs Epilayers by Localized Atomic Force Microscope Probe Oxidation for Fabrication of Nano-structure Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Formation of Nano-oxide Regions in p²⁺-GaAs Epilayers by Localized Atomic Force Microscope Probe Oxidation for Fabrication of Nano-structure Devices

著者

和文:	Yuichi Matsuzaki, Narihisa Ota, Akira Yamada, Adarsh Sandhu, Makoto Konagai.
英文:	Yuichi Matsuzaki, Narihisa Ota, Akira Yamada, Adarsh Sandhu, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Crystal Growth

巻, 号, ページ

Vol. 251 pp. 276-280

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: