キャピラリィＺピンチ放電プラズマを用いたＥＵＶ光源の開発 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	キャピラリィＺピンチ放電プラズマを用いたＥＵＶ光源の開発
英文:

著者

和文:	渡辺正人, 笠尾哲, 岡本光男, 宋　仁皓, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	渡辺正人, 笠尾哲, 岡本光男, 宋　仁皓, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成15年電気学会全国大会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 169

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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