Wet etching for self-aligned 0.1-um-wide emitter in InP/InGaAs HBT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wet etching for self-aligned 0.1-um-wide emitter in InP/InGaAs HBT

著者

和文:	K.Yokoyama, Y.Miyamoto, T.Morita, T.Arai, K.Matsuda, K.Furuya.
英文:	K.Yokoyama, Y.Miyamoto, T.Morita, T.Arai, K.Matsuda, K.Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics

巻, 号, ページ

Vol. W-11

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: