Characterization and Comparison of Strained Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> MOSFET Grown by Gas Source MBE and Hot Wire Cell Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization and Comparison of Strained Si_1-yC_y MOSFET Grown by Gas Source MBE and Hot Wire Cell Method

著者

和文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstract of the 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 520-521

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: