Low Temperature (320<sup>o</sup>C) Deposition of Hydrogenated Microcrystalline Silicon Carbide Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature (320^oC) Deposition of Hydrogenated Microcrystalline Silicon Carbide Thin Films

著者

和文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	10th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2003

巻, 号, ページ

pp. 207

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: