ECRスパッタ法により形成したAlO<sub>x</sub>N<sub>y</sub>薄膜の熱処理に関する検討 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ECRスパッタ法により形成したAlO_xN_y薄膜の熱処理に関する検討
英文:

著者

和文:	山中剛, 内川偉史, 大見俊一郎, 酒井徹志.
英文:	山中剛, 内川偉史, 大見俊一郎, 酒井徹志.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第64回応用物理学会学術講演会　講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 733

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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