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論文・著書情報


タイトル
和文:高誘電率希土類酸化物薄膜のSi基板表面処理の効果 
英文: 
著者
和文: 吉原義昭, 大島千鶴, 大見俊一郎, 岩井洋.  
英文: 吉原義昭, 大島千鶴, 大見俊一郎, 岩井洋.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第63回応用物理学会学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 735
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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