Separation by Bonding Si Islands (SBSI) for LSI Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Separation by Bonding Si Islands (SBSI) for LSI Applications

著者

和文:	Tetsushi Sakai, Takashi Yamazaki, Shun-ichiro Ohmi, Shinya Morita, Hiroyuki Ori, Junichi Murota, Masao Sakuraba, HIroo Omi, Yasuo Takahashi.
英文:	Tetsushi Sakai, Takashi Yamazaki, Shun-ichiro Ohmi, Shinya Morita, Hiroyuki Ori, Junichi Murota, Masao Sakuraba, HIroo Omi, Yasuo Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Second International SiGe Technology and Device Meeting

巻, 号, ページ

pp. ?

出版年月

2004年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Frankfurt (Oder), Germany

DOI