X-Y-θ Nano-Positioning Table System for a Mother Machine

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	X-Y-θ Nano-Positioning Table System for a Mother Machine

著者

和文:	新野秀憲, Hitoshi HASHIZUME, Hayato YOSHIOKA, Tadahiko SHINSHI, Kaiji SATO.
英文:	Hidenori SHINNO, Hitoshi HASHIZUME, Hayato YOSHIOKA, Tadahiko SHINSHI, Kaiji SATO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Annals of the CIRP(Annals of the International Institution for Production Engineering Research)

巻, 号, ページ

Vol. 53 No. 1 pp. 337-340

出版年月

2004年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文:

DOI