Theoretical modeling of laser-produced plasmas for development of extreme UV radiation source for lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Theoretical modeling of laser-produced plasmas for development of extreme UV radiation source for lithography

著者

和文:	K.Nishihara, T.Nishikawa, A.Sasaki, 河村徹, A.Sunahara, H.Furukawa, M.Murakami, H.Nishimura, Y.Shimada, M.Nakai, S.Fujioka, K.Shigemori, S.Uchida, K.Fujima, R. More, F.Koike, T.Kagawa, V.Zhakhovskii, K.Hashimoto, M.Yamaura, R.Matsui, T.Hibino, T.Okuno, Y.Tao, F.L.Sohnatzadeh, K.Nagai, T.Norimatsu, H.Tanuma, N.Miyanaga, Y.Izawa.
英文:	K.Nishihara, T.Nishikawa, A.Sasaki, T.Kawamura, A.Sunahara, H.Furukawa, M.Murakami, H.Nishimura, Y.Shimada, M.Nakai, S.Fujioka, K.Shigemori, S.Uchida, K.Fujima, R. More, F.Koike, T.Kagawa, V.Zhakhovskii, K.Hashimoto, M.Yamaura, R.Matsui, T.Hibino, T.Okuno, Y.Tao, F.L.Sohnatzadeh, K.Nagai, T.Norimatsu, H.Tanuma, N.Miyanaga, Y.Izawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 3rd international conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, Monterey, California, USA, September 7-12, 2003.

巻, 号, ページ

pp. 1069-1073

出版年月

2003年9月

出版者

和文:
英文:	American Nuclear Society, Inc. 555 N. Kensington Avenue La Grange Park, Illinois 600526 USA

会議名称

和文:
英文:	the 3rd international conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, Monterey, California, USA, September 7-12, 2003.

開催地

和文:
英文:	Monterey, California, USA, September 7-12, 2003.