Characterization of Extreme UV Radiation in Laser-Produced Plasma for Use in Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Extreme UV Radiation in Laser-Produced Plasma for Use in Lithography

著者

和文:	H.Nishimura, K.Shigemori, M.Nakai, T.Okuno, T.Hibino, R.Matsui, K.Nagai, T.Norimatsu, S.Uchida, Y.Shimada, A.Sunahara, 河村徹, H.Furukawa, H.Nagatomo, V.Zhakhovskii, K.Nishihara, M.Nakatsuka, Y.Izawa.
英文:	H.Nishimura, K.Shigemori, M.Nakai, T.Okuno, T.Hibino, R.Matsui, K.Nagai, T.Norimatsu, S.Uchida, Y.Shimada, A.Sunahara, T.Kawamura, H.Furukawa, H.Nagatomo, V.Zhakhovskii, K.Nishihara, M.Nakatsuka, Y.Izawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 3rd international conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, Monterey, California, USA, September 7-12, 2003.

巻, 号, ページ

pp. 1077-1080

出版年月

2003年9月

出版者

和文:
英文:	American Nuclear Society, Inc. 555 N. Kensington Avenue La Grange Park, Illinois 600526 USA

会議名称

和文:
英文:	the 3rd international conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, Monterey, California, USA, September 7-12, 2003.

開催地

和文:
英文:	Monterey, California, USA, September 7-12, 2003.