Photoluminescence assessment of B, P and Al in Si wafers: The problem of the sample heating by a laser beam

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photoluminescence assessment of B, P and Al in Si wafers: The problem of the sample heating by a laser beam

著者

和文:	I. Pelant, J. Dian, J. Matouskova, J. Valenta, J. Hala, M. Ambroz, M. Vacha, V. Kohlova, K. Vojtechovsky, K. Kaslik.
英文:	I. Pelant, J. Dian, J. Matouskova, J. Valenta, J. Hala, M. Ambroz, M. Vacha, V. Kohlova, K. Vojtechovsky, K. Kaslik.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 73 pp. 3477-3481

出版年月

1993年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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