Nano-structure fabrication on SI-GaAs(100) substrate by dynamic plowing lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nano-structure fabrication on SI-GaAs(100) substrate by dynamic plowing lithography

著者

和文:	N. Ota, T. Ohtsuka, Y. Kajiyama, A. Yamada, M. Konagai.
英文:	N. Ota, T. Ohtsuka, Y. Kajiyama, A. Yamada, M. Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	23rd Electronic Materials Symposium

巻, 号, ページ

pp. 55

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: