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論文・著書情報


タイトル
和文:微結晶SiC:H薄膜の作製とその物性 
英文: 
著者
和文: 宮島晋介, 屋敷保聡, 山田明, 小長井誠.  
英文: 宮島晋介, 屋敷保聡, 山田明, 小長井誠.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第31回アモルファス物質の物性と応用セミナー 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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