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論文・著書情報


タイトル
和文:Cat-CVD(HWCVD)法による微結晶3C-SiC薄膜の低温堆積と応用 
英文: 
著者
和文: 宮島晋介, 屋敷保聡, 山田明, 小長井誠.  
英文: 宮島晋介, 屋敷保聡, 山田明, 小長井誠.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第1回Cat-CVD研究会 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2004年 
出版者
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会議名称
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開催地
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