ガスソースMBE法による歪緩和Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub>膜の作製 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ガスソースMBE法による歪緩和Si_1-yC_y膜の作製
英文:

著者

和文:	鈴木裕一, 石原英恵, 綿引達郎, 山田明, 小長井誠.
英文:	鈴木裕一, 石原英恵, 綿引達郎, 山田明, 小長井誠.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成16年春季第51回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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