Characterization and Comparison of Strained Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy and Hot Wire Cell Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization and Comparison of Strained Si_1-yC_y Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy and Hot Wire Cell Method

著者

和文:	Tatsuro WATAHIKI, Hanae ISHIHARA, Katsuya ABE, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Tatsuro WATAHIKI, Hanae ISHIHARA, Katsuya ABE, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 4B pp. 1882-1885

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: