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論文・著書情報


タイトル
和文:HWCVD法によるAlドープ微結晶3C-SiC:H薄膜の低温堆積 
英文: 
著者
和文: 芳賀渓介, 宮島晋介, 綿引達郎, 山田明, 小長井誠.  
英文: 芳賀渓介, 宮島晋介, 綿引達郎, 山田明, 小長井誠.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:平成16年秋季第65回応用物理学関係連合講演会  
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2004年 
出版者
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会議名称
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開催地
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