Characteristics of Extreme Ultraviolet Radiation Conversion Efficiency of Xenon Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of Extreme Ultraviolet Radiation Conversion Efficiency of Xenon Plasma

著者

和文:	MASNAVIMAJID, 中島充夫, 佐々木明, 堀田栄喜, 堀岡一彦.
英文:	majid masnavi, MITSUO NAKAJIMA, Akira Sasaki, Eiki HOTTA, KAZUHIKO HORIOKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn.J.Appl.Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 12 pp. 8285-8291

出版年月

2004年12月

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

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DOI