Isolation of 80 nm periodical Au/Ti/n-GaInAs ohmic contacts

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Isolation of 80 nm periodical Au/Ti/n-GaInAs ohmic contacts

著者

和文:	Y.Miyamoto, H.Oguchi, H.Nakamura, Y.Ninomiya, K.Furuya.
英文:	Y.Miyamoto, H.Oguchi, H.Nakamura, Y.Ninomiya, K.Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	20th Electronic Materials Symposium

巻, 号, ページ

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: